@phdthesis{oai:ynu.repo.nii.ac.jp:00008242,
 author = {李, 寧},
 month = {Mar},
 school = {横浜国立大学},
 title = {集光型赤外線加熱炉を用いたハーフインチシリコンCVD装置開発},
 year = {2017}
}