@phdthesis{oai:ynu.repo.nii.ac.jp:00004457,
 author = {石川, 浩嗣},
 month = {},
 note = {application/pdf, 横浜国立大学, 平成17年9月30日, 博士(工学), 甲第821号},
 title = {MEMS開発における概念設計支援手法の提案とその応用},
 year = {2005}
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