@phdthesis{oai:ynu.repo.nii.ac.jp:00004410, author = {横澤, 毅}, month = {}, note = {application/pdf, 横浜国立大学, 平成18年9月30日, 博士(工学), 甲第953号}, title = {砥粒レス超音波研磨法によるCVDダイヤモンド膜の平滑化に関する研究}, year = {2006} }