@techreport{oai:ynu.repo.nii.ac.jp:00004291, author = {小豆島, 明 and 青木, 孝史郎}, month = {Mar}, note = {application/pdf, 科学研究費補助金研究成果報告書, 課題番号07555516, 1995年度~1996年度, 試験研究(B)→基盤研究(A)}, title = {レーザ散乱光の画像処理による加工表面のインラインプロセス計測装置の開発}, year = {1997} }