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アイテム / Surface roughening and rippling during plasma etching of silicon: numerical investigations and a comparison with experiments / 2014_Tsuda_H_JVST_B_32_031212
2014_Tsuda_H_JVST_B_32_031212
ファイル | ライセンス |
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公開日 | 2015-03-10 | |||||
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ファイル名 | 2014_Tsuda_H_JVST_B_32_031212.pdf | |||||
本文URL | https://ynu.repo.nii.ac.jp/record/4192/files/2014_Tsuda_H_JVST_B_32_031212.pdf | |||||
ラベル | 2014_Tsuda_H_JVST_B_32_031212.pdf | |||||
フォーマット | application/pdf | |||||
サイズ | 11.4 MB |
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