@phdthesis{oai:ynu.repo.nii.ac.jp:00010810,
 author = {高橋, 至直},
 month = {Sep},
 school = {横浜国立大学},
 title = {半導体材料分野における一フッ化塩素ガスの製造プロセスとエッチング反応性に関する研究},
 year = {2020}
}